干法烟气脱硫脱硝一体化技术包括四个方面：固相吸收/再生法、气/固催化同时脱硫脱硝技术、吸收剂喷射法以及高能电子活化氧化法，以下是高能电子活化氧化法。

电子束照射法

利用阴极发射并经电场加速形成高能电子束，这些电子束辐照烟气时产生自由基，再和sox和nox反应生成硫酸和硝酸，在通入氨气(nh3)的情况下，产生(nh4)2so4和nh4no3氨盐等副产品。日木荏原公司经过20多年的研究开发，己从小试逐步走向工业化。脱硫率90%以上，脱硝率80%以上。但耗电量大(约占厂用电的2%)，运行费用高。

脉冲电晕等离子体法

masuda等人1986年发现电晕放电可以同时脱除二氧化硫和氮氧化物，该方法由于具有设备简单、操作简便，显著的脱硫脱硝和除尘效果以及副产物可作为肥料回收利用等优点而成为国际上脱硫脱硝的研究前沿。

脉冲电晕等离子体技术和电子束法均属于等离子体法.脉冲电晕与传统的液相(氢氧化钙或碳酸氢铵)吸收技术相结合，提高了烟气二氧化硫和氮氧化物的脱除效率，实现脱硫、脱硝的一体化。脉冲电晕放电脱硫脱硝有着突出的优点，在节能方面有很大的潜力，对电站锅炉的安全运行也没有影响。